近日，国家计量技术规范《半导体窄脉冲测试电流源校准规范》预审会在我院召开。该规范是由我院筹建的国家智能控制系统制造产业计量测试中心牵头，联合武汉普赛斯仪表有限公司、杭州加速科技有限公司联合起草。此次预审会由全国无线电计量技术委员会秘书长何昭研究员主持。
专家组审阅了校准规范（初稿）、编制说明和试验报告，并提出修改意见和建议。规范编制组根据专家组意见补充试验，进一步补充开展了相关试验，同时对校准规范进行了全面修改完善，最终形成了《半导体窄脉冲测试电流源校准规范（征求意见稿）》，提交全国无线电计量技术委员会秘书处，向全国有关单位征求意见和建议。
半导体窄脉冲测试电流源是一种能够输出高精度、窄脉宽（微秒级）大电流电脉冲的专用设备，主要用于半导体器件及集成电路的性能测试与特性分析，如脉冲电流幅度、脉冲电流上升时间、脉冲电流宽度、脉冲电流重复周期等。当前主要面临缺乏可靠的统一的校准规范作为技术指导原则，以及缺乏可靠的量值溯源方法和高精度、高稳定性的计量标准设备两大问题。本规范的编制使用以及半导体窄脉冲电流源校准装置研制使用，将有效地解决半导体窄脉冲测试电流源量值的量值溯源问题，支撑半导体生产线智能控制系统实时监测数据和产品质量检测数据的准确性可靠性，促进半导体生产制造过程向数据化、网络化、智能化方向高质量发展。（科研部常志方、张向 供稿）
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